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長沙埃福思科技有限公司

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離子束拋光機IFS1300C
離子束拋光機IFS1300C


 

IFS1300C_2.jpg



1300c(1)(1).jpg


離子束拋光
離子束拋光機IFS1300C技術參數離子束拋光

名稱

參數

加工能力
(最大工件尺寸)

1300mm×1300mm
厚度500mm

X軸行程

1300mm

Y軸行程

≥1300mm

Z軸行程

≥300mm

離子源

德國射頻離子源

中和器

德國

最大束電壓

2000V

最大束電流

1000mA

束流密度測量

法拉第杯/探針

陰極Tip壽命

150-1000 hours

去除函數

高斯型、穩定性≥95%

工作真空

5×10-3pa

工作真空建立時間

1.5 hours

副室真空建立時間

30 min

X軸最大運動速度

8m/min

Y軸最大運動速度

8m/min

Z軸最大運動速度

5m/min

運動軸重復定位精度

≤±0.01mm

保護功能

具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等

智能功能

具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。

外形尺寸

長寬高:6×5×3m

整機重量

15

能耗功率

Max:26KW  Avg:8KW

Ion Beam FiguringIon Beam FiguringIon Beam FiguringIon Beam Figuring離子束拋光離子束拋光離子束拋光    


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