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離子束拋光機IFS300A
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離子束拋光機IFS300A

 

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離子束拋離子束拋光機IFS300A技術參數離子束拋光

名稱

參數

加工能力
(最大工件尺寸)

300mm×300mm
厚度100mm

可加工面形

平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等

可加工材料

石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等

可加工精度

亞納米加工精度、可實現面形RMS<1nm超高精度加工

X軸行程

300mm

Y軸行程

300mm

Z軸行程

300mm

離子源

美國Veeco HC 5cm / 德國射頻離子源

中和器

美國 Veeco HCN / 德國

工作真空建立時間

1 hours

副室真空建立時間

≤15 min

X軸最大運動速度

5m/min

Y軸最大運動速度

5m/min

Z軸最大運動速度

3m/min

運動軸重復定位精度

≤±0.01mm

保護功能

具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等

智能功能

具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。

外形尺寸

長寬高:2.5x2.5x2.1m

整機重量

4噸

能耗功率

Max:12KW  Avg:5KW

 

 


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